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企业新闻
注浆成形法制备熔融石英陶瓷的分析
日期:[2014-06-20 14:51:55] 共阅[1731]次
小编下面为大家介绍注浆成形法制备熔融石英陶瓷的分析,来看看吧!
石英陶瓷由于不会与硅发生化学反应,且具备低热膨胀系数、低热导率和优异的热稳定性而被应用于生产多晶硅的坩埚,为了适应多晶硅片的规格不断增大的需求,石英陶瓷坩埚的尺寸必须随之增大,从而对石英陶瓷的制造技术提出了更高的要求。注浆成形是石英陶瓷坩埚常用的成形方法之一,具有低成本和低污染等优点。但是生坯强度低制约了大尺寸石英陶瓷坩埚的发展。通过优化工艺参数,制备出适合注浆成形的高固含量和低粘度的稳定石英浆体。并且通过二次加料球磨,调整浆料的颗粒级配提高石英陶瓷生坯强度。采用乳酸为分散剂,其加入量为0.1-0.5 wt%,熔融石英固含量为63 vol%时,以一定颗粒级配的玛瑙球为研磨介质球磨5 h后,再搅拌24 h,制备的石英浆体粘度为114mPa.S,符合注浆成形的要求。通过调整浆体的颗粒级配,使颗粒之间能够形成有效紧密堆积,是非常有效提高坯体强度的方法。
也许您对以上石英陶瓷的内容还不是很清楚,没关系,如果您还有问题的话,欢迎随时来电咨询,愿竭诚为您服务!
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