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石英坩埚的工艺特点

日期：[2014-08-05 10:50:09] 共阅[2138]次

　　早期的石英坩埚是全部透明的，最早期的石英坩埚是全部的透明的结构，这种透明的结构却容易引起导致不均匀的热传输条件，增加晶棒生长的困难度。
　　1、现代拉单晶的石英坩埚一般是采用电弧法生产，半透明状，是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。
　　2、现代的石英坩埚则存在二种结构，外侧是一层具有高气泡密度的区域，称为气泡复合层，内侧则是一层3~5mm的透明层，称之为气泡空乏层。
　　3、气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。
　　石英坩埚采用国内先进制埚离心机，用玻璃制子离心手工成型，用石墨电极、低压大电流电弧烧制（温度达到2000多度）。

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