石英陶瓷在高温下具有趋向变成二氧化硅的晶体(方石英)。这个过程称为再结晶,也称为“失透”,通常也称为“析晶”。下面详细的为大家介绍这种现象:
析晶通常发生在石英陶瓷的表层,按照中国石英玻璃行业标准规定,半导体工业用石英玻璃在1400℃±5℃下保温6小时,其析晶层的平均厚度应为﹤100?m ,在100?m之内的析晶是属于正常的。析晶将减薄石英陶瓷原有的厚度,降低了坩埚的强度容易引起石英陶瓷的变形。严重的析晶对拉单晶的影响很大,石英陶瓷内壁发生析晶时有可能破换坩埚内壁原有的涂层,这将导致涂层下面的气泡层和熔硅发生反应,造成部分颗粒状氧化硅进入熔硅内,使得正在生长中的晶体结构发生变异而无法正常长晶。
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